第21回マイクロ・ナノ加工研究会（WEB）
主催：特定非営利活動法人 ナノ構造ポリマー研究協会
日時：2021年6月24日（木）13:30-16:00
場所：Microsoft TeamsによるWEB開催
＜13:30-14:00＞ マイクロ・ナノ加工研究会幹事会
＜14:00-15:00＞
講演「レーザアシスト熱ナノインプリントとその応用の紹介」
Laser-assisted thermal imprinting and its applications
講演者：長藤 圭介 様（東京大学大学院 機械工学専攻 准教授）
要旨：表面に微細な構造が施された大面積フィルムは，光・熱流体・力・電子・化学物質・生体物質などとさまざまな相互作用を発現し，
多くの応用があります．樹脂表面に微細構造を施す方法にナノインプリントがありますが，大面積成形に向いたレーザアシスト
熱ナノインプリントの紹介をします．それを用いたアプリケーションも紹介します
Micro-/nanostructured surface large-area films express a variety of functions with light, thermal fluid,
force, electron, chemicals, and biological materials, and may realize many of applications.
Among nanoimprinting methods synthesizing micro-/nanostructured surface, a laser-assisted thermal
nanoimprinting is introduced. And its applications are also introduced.
＜15:00-16:00＞ 講演「バイオミメティクスを指向したMEMS微細多段フィン金型の作製と樹脂への形状転写」
Fabrication of MEMS mold with micro-multi-fin structure and shape transfer to resin for biomimetics.
講演者：矢作 徹 様（山形県工業技術センター 電子情報システム部 主任専門研究員）
要旨：近年、生物がもつ微細構造を参考にしたバイオミメティクス（生物模倣）への関心が高まっている。我々はこれまでフォトリソグラフィ、
を模倣し、3次元構造を有する金型の作製、および金型を用いた樹脂への形状転写について検討してきた。本講演では上記の検討結果についてご紹介する。
In recent years, there has been an increasing interest in biomimetics. In this study, we have considered
in detail the MEMS processes such as photolithography, sputtering, dry etching and wet etching to imitate
the scale structure of morpho butterflies with wavelength-selective reflection property, and
the three-dimensional scale structured mold was fabricated. The molding was obtained by thermal imprint
method and the shape transfer property to resin was studied. In this presentation,
we will introduce the results of the above studies, the prospects and the challenges.
【参加要領】
マイクロ・ナノ加工研究会会員（各社２名まで）、運営委員、特定招待者（１社１名）のみのexclusiveな会合です。
