第30回マイクロ・ナノ加工研究会
主催：特定非営利活動法人 ナノ構造ポリマー研究協会
日時：2024年5月30日（木）13:00-20:00
場所：山形大学 グリーンマテリアル成形加工研究センター（GMAP）４階４０６室（セミナー室）
〒992-8510 山形県 米沢市 城南 4-3-16
Tel／Fax 0238-26-3073(101)
<スケジュール>
12:55 集合（会場に直接お越しください）
13:00 – 13:30 幹事会
13:30 – 14:20 講演 山形大学理工学研究科 教授 峯田 貴 様
演題 スマート材料のマイクロ･ナノ加工と３D構造化によるMEMSデバイス開発
形状記憶合金(SMA)等のスマートマテリアルの厚膜形成、微細エッチング、基板接合による多層化、
微細円筒面へのリソグラフィ等のマイクロ･ナノ加工技術と、これらのプロセス技術を用いたSMA膜型触覚デバイス、
カテーテル用チューブ型マイクロアクチュエータ･センサ等のMEMSデバイス開発例について紹介する。
14:20 – 15:10 講演 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター 教授 戸津 健太郎 様
演題 微細加工共用設備・試作コインランドリにおけるMEMS研究開発支援と人材育成
MEMSを中心とする微細加工関係の150台以上の設備が時間単位で利用できる共用設備「東北大学試作コインランドリ」の活動を紹介する。
2010年の開始以来、企業を中心に400近い機関が利用している。設備、技術情報に利用者がアクセスし、加工結果などの情報を他と共有しながら
研究開発を加速させる「オープンコラボレーション」を実践し、製品化に至った事例も複数ある。研究開発と同時に人材育成の場としても機能している。
15:10 – 15:20 休憩（web参加者はここまで）
15:20 – 16:10 グリーンマテリアル成形加工研究センター等見学 リンク
16:10 – 17:00 旧米沢高等工業学校本館（国の重要文化財）見学 リンク
17:00 – 18:00 移動
18:00 – 20:00 懇親会 @ 米沢市内
【参加方法】
マイクロ・ナノ加工研究会会員（各社２名まで）、運営委員、特定招待者（１社１名）のみのexclusiveな会合です。
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参加申込み書 ※5月24日（金）〆切
5月30日（木） 第30回マイクロ・ナノ加工研究会
講演会 参加・不参加（どちらか消してください）
現地・WEB
懇親会 参加・不参加（どちらか消してください）
お名前：
所属：
電話番号：
Eメール：
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※電話番号が変わりました。
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穂苅 遼平 (HOKARI Ryohei) 博士(工学)
国立研究開発法人 産業技術総合研究所
製造技術研究部門 機能表面研究グループ
Tel: 050-3522-3659 E-mail: hokari.ryohei@aist.go.jp
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